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離子槍電源
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DADIAN IGC系列氬離子槍電源產生高能電場，使得惰性氣體離子化并加速到高能狀態，撞擊固體表面而實現濺射刻蝕。其離子束流可聚焦，廣泛應用于清潔表面從而進行表面分析、光電子能譜及濺射蒸鍍。常見于表面分子、光電子能譜實驗、半導體科研、真空濺射蒸鍍等應用中。 |
輸入
115Vac/220Vac±10%，50/60Hz，需在訂單中確定
輸出
分500V、1000V、1500V、2000V四檔輸出
紋波
< 0.05%
電壓調節率
負載：全負載擾動情況下，最大電壓的0.01%
線路：輸入電壓改變±10%情況下，最大電壓的±0.01%
直流燈絲
電流：3A，可調
電壓：5V（特殊要求需要訂制）
紋波：< 0.05%
發射電源
180V，最大100mA
紋波：< 0.05%
聚焦電源
電壓：0～2000V
紋波：< 0.05%
溫度系數
電壓或電流調節：100ppm/℃?？商峁└叻€定度規格
環境溫度
操作溫度：0℃～50℃
存儲溫度：-40℃～85℃
穩定性
電壓、電流調節預熱半小時后：100ppm/小時
輸出電纜
國際標準認證高壓BNC電纜和接頭
外形尺寸
200W：48.3×48.5×13.2cm
重量
12～14kg
